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레이저기반 마이크로소자 제조장치

장비명: 레이저기반 마이크로소자 제조장치
모델명: 레이저기반 마이크로소자 제조장치
제조사: ㈜유로비젼레이저(Korea)

제조국가
장비위치: 3D융합기술지원센터(본관)
첨부파일: -

장비설명: - 생명 과학, 의료, 광학, 센서 등에 사용되는 마이크로 디바이스 통합 제조 장비
- 투명한 소재의 내부 및 외부 초정밀 레이저 가공으로 micro fluidic, 3D micro mold 및 광학 소자와 같은 미세 가공 지원 가능

규격: Laser
-Wavelength : 1,030 nm
-Beam quality : TEM00 with M2<1.3
-Repetition rate : ≥100 kHz ~ 1 MHz
-Pulse duration : ≤400 ~ 900 fs
Stage
-Stroke(XYZ) : 120 × 80 × 35 mm
-Resolution(XYZ) : ≤1 ㎛
-Max. Speed(XY) : 200 mm/s, Speed(Z) : 10 mm/s

활용용도: 극초단 레이저를 이용한 glass polishing, micro fluidic 등 초소형 제품 개발
- glass 3차원 설계 및 가공
- 3D micro fluidic Cell
- 생체 의학 및 화학 응용 분야를 위한 3D micro chanel
- fused silica의 3D micro mechanic 및 3D hole 가공
- 높은 정밀도의 절삭에 의한 미세 구조화
- 레이저 가공 후 에칭 공정 완료로 일괄 공정 지원