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공초점 현미경

장비명: 공초점 현미경
모델명: 공초점현미경
제조사: OLS4100(Japan)

제조국가
장비위치: 3D융합기술지원센터(본관)
첨부파일: -

장비설명: Laser 광원과 Pinhole을 이용하고 사람 눈보다 더욱 민감한 Detector를 이용하여 고해상도 3D 관측 및 실시간으로 측정을 위한 레이저 현미경으로 비접촉 비파괴 방식으로 높은 정밀도 측정 및 거칠기 분석이 가능

규격: Wavelength : 405 nm
Total Magnification: 108 ~ 17,280x
Z focusing Unit Stroke : 100 mm
XY stage : 100 × 100 mm
Planar Measurement
- Repeatability : 0.02 ㎛
- Accuracy : ±2 %

활용용도: 재료 공학/의료/생물학/반도체 등의 광범위한 분야의 시료 측정
- Semiconductor :IC pattern bump hight defect inspection CMP process
- FPD products :LCD column spacer height coating inspection
- MEMS devices :3D profile of structuresurface roughness MEMS pattern