-마이크로/나노급의 정밀한 위치제어가 가능한 위치제어 시스템
-고출력펨토초 레이저를 XYZ 스테이지와 포커싱 헤드 또는 갈바노 미터를 통하여 수 마이크로의 선폭으로 가공
-동축 CCD를 장착하여 실시간으로 가공부를 표시
규격
1) System Control : XYZ,rotationaxis Galvo sycronization for 2D, 3D & tube
2) Stage Unit. : Stroke 300 mm, Accuracy +/- 0.5 um, Repeatability +/- 0.5 um, Maximum speed 2 m/s
3) Optical Table : Size : 2000 × 1500 × 800mm
활용용도
마이크로나노위치제어시스템은 펨토초 레이저를 공급원으로 하여 의료, 생체 소재, 반도체, 전자, 기계 등의 첨단산업 분야에서 요구되는 마이크로 크기의 부품 가공 및 생체 소재, 의료용 레이저 응용 분야에 수 마이크로의 선폭으로 재료를 절단, 드릴링, 스크라이빙, 용융 하는 가공 장비로 활용
