첨단정보통신융합산업기술원

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정밀형상측정장비

장비명: 정밀형상측정장비
모델명: 편광현미경 (정밀형상검사장비)
제조사: OLYMPUS(Korea)

제조국가
장비위치: 3D융합기술지원센터(본관)
첨부파일: -

장비설명: -

규격: • 측정 범위 : X=1,000 mm, Y=1,200 mm, Z=700 mm
• 시스템 분해능 : 0.02 ㎛
• 프로빙 정밀도 : 0.5 ㎛ 또는 보다 정밀
• 스캐닝 정밀도 : 0.9 ㎛/40 초 또는 보다 정밀
• 스캐닝 속도 : 300 mm/s 또는 이상
• 정밀도 보상 방식 : 컴퓨터 보상 방식

활용용도: -